3D-Messtechnik

Für die dreidimensionale Geometrievermessung von Bauelementen werden am HSG-IMAT verschiedenste Geräte eingesetzt. Mit Rasterkraftmikroskopie (AFM), Rasterelektronenmikroskopie (REM), Koordinatenmesstechnik, Computertomografie (CT), Profilometern und weiterem speziell auf die Anforderungen von Mikrotechnik und MID ausgerichtetem Mess-Equipment können sowohl Werkzeugkavitäten, Mikroformteile, MID-Bauteile als auch optische Bauelemente geometrisch charakterisiert werden.

Wir greifen auf folgende Messgeräte zurück:

Rasterelektronenmikroskopie (REM):
JEOL JSM-6490LV mit Low Vacuum
EOL TESCAN 5130 mit EDX

Röntgentomographie (CT):
X-TEK HMXST CT 160 micro focus
mit Nanotech-Transmissionstarget 1µm
mit Mikro-Reflexionstarget <5µm

Optischer 3D-Profilometer:
FRT Microglider mit CWL und AFM

Tastschnitt-Profilometer:
Zeiss Surfcom 5000 SD

3D- Koordinaten-Messtechnik:
Werth Video-Check-IP 400x400x200 mit mechanischen und optischen Messköpfen

Optische Mikroskopie:
Diverse Mikroskope und Makroskope von Nikon, 2-fach bis- 1000-fach, Kamerasysteme mit Bildvermessung am PC

 

Ihr Ansprechpartner:
Dipl.-Ing. Peter Buckmüller
+49 711 685-84265
+49 711 685-83705
buckmueller@hsg-imat.de
Messung mit 3D-Profilometer
CT-Aufnahme von Leiterbahnen auf MID